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浙江邁創(chuàng)微電子技術有限公司在浙江省杭州市臨安區(qū)青山湖科技城投資建設有一個國內先進的新型高端芯片研發(fā)中試基地。中試基地采用12英寸、28納米集成電路制造工藝,引進浸沒式光刻機、金屬物理氣相沉積和透射電子顯微鏡等設備,致力于建設成為國內領先、國際一流,集研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化于一體的微納技術研發(fā)中試線。主要面向國內從事與微納技術相關的企業(yè)、高校和科研院所,提供新型存儲器、新一代圖像傳感器等產(chǎn)品從技術研發(fā)到中試生產(chǎn)的服務。
本中試線具有以下特點:
1.???? 完備性。中試線集成了基于先進光刻工藝的芯片研發(fā)的整體設備,實現(xiàn)了從基片到成品的工藝完整性,擁有常規(guī)和個性化的檢測設備,適合于新型集成化電子器件的研發(fā)。
2.???? 先進性。中試線可以實現(xiàn)28納米線寬的器件光刻,是國內最先進的微電子特色工藝加工中試線。
3.???? 獨特性與唯一性。中試線是國內唯一、國際上也為數(shù)不多的同時具備研發(fā)與加工微電子半導體器件、自旋電子器件、傳感器等器件的技術平臺。
4.???? 具有產(chǎn)品試制和小批量生產(chǎn)供貨的能力。中試線可以進行新型器件的研發(fā),也可以在器件研發(fā)成功的基礎上進行中試和小批量生產(chǎn),為大批量生產(chǎn)奠定基礎,可以縮短從研發(fā)到量產(chǎn)的進程。
5.???? 具備中試和規(guī)模化量產(chǎn)的無縫連接。中試線具有跟量產(chǎn)線無縫對接的設計、廠房、設備等,可以縮短中試轉量產(chǎn)的時間,減少轉移的技術風險。